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            傳感器

            虹科干貨 | MEMS傳感器“掃盲指南"

              2023年07月20日  

            MEMS傳感器是最先進的微型設備之一,以令人難以置信的精確度測量物理量,有力地改變著各行各業。

            MEMS技術使得高度集成系統的開發成為可能,這些系統用于監控工藝性能,并為制造廠的自動控制系統提供至關重要的反饋。更不用說,它還通過精確測量儲罐和管道內部的壓力來確保安全,從而減輕潛在的危險。

            讓我們深入探究MEMS傳感器,了解它們的工作原理、應用以及在工業領域中的重要作用。

            一、什么是MEMS傳感器?

            虹科ESCP-MIS2 硅電容式壓力傳感器

            MEMS傳感器是用于測量壓力、溫度、加速度和磁場等物理量的微型設備。

            微電子機械系統(MEMS)傳感器廣泛應用于各種領域,從醫療到汽車系統,其堅固的機械結構使其能夠在惡劣的環境條件下工作。

            虹科ESCP-MIS2傳感器采用ES Systems獨有的SOI微納加工TM30工藝構建電容式MEMS傳感器,用于絕對電容式壓力傳感器,能夠承受從-20℃到+85℃的溫度范圍。

            MEMS傳感器由電子和機械組件組成。微電子組件負責感知和處理數據,而機械部分提供物理反饋。這種組合使得MEMS傳感器小巧、可靠且具有成本效益。

            二、MEMS傳感器的作用是什么?

            MEMS設備,尤其是MEMS壓力傳感器,已成為不可或缺的工業工具,它們可以在封閉系統中提供測量,或者監測大氣條件的變化。

            三、什么是MEMS技術?

            近年來,MEMS技術顯著改變了制造和設計實踐。

            微納加工和納米技術相結合,形成了一種方法,可以創造出同時具有機械和電子組件的小型設備,廣泛應用于從醫療應用到消費電子的各個行業,充分利用它們的小尺寸和高精度,使我們能夠生產更高效的產品。

            MEMS制造使用光刻、蝕刻、沉積和鍵合等工具,在微米尺度上制造結構,以在各個行業中使用?,F在工程師們可以利用MEMS制造技術,為創新和在多個領域取得進步提供無盡的機會。

            四、一些熱門的MEMS傳感器示例

            以下是目前可用的一些不同類型的MEMS傳感器及它們在各種情況下的應用:

            ● MEMS壓力傳感器

            常用于工業自動化系統、汽車系統和醫療設備,用于測量和監測封閉系統(如儲罐或管道)中的壓力。

            ● MEMS加速度計

            這些加速度計用于航空航天、汽車和消費電子產品中,用于測量加速度、傾斜、振動和運動,從而提供動作檢測和穩定控制功能。

            ● MEMS陀螺儀

            在導航系統、無人機和虛擬現實設備中廣泛使用,用于精確測量角速度和方向。

            ● MEMS溫度傳感器

            在暖通空調系統、工業過程和醫療設備中使用,以監測和調節溫度,以實現最佳性能和安全性。

            MEMS麥克風

            MEMS麥克風可以在智能手機、可穿戴設備和音頻系統中找到,將聲波轉換為電信號,實現清晰的音頻重現。

            ● MEMS氣體/流量傳感器

            這些傳感器被廣泛用于環境監測、醫療設備開發、汽車排放控制系統和工業安全系統,用于檢測和測量各種氣體或流體流量,以確保質量和安全標準得以保持。

            (來源:虹科)

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